石英谐振式压力传感器是一种高精度、高稳定性的压力测量装置,利用石英晶体的压电效应和谐振频率特性实现压力信号的转换。其核心部件为石英谐振器,当外界压力作用时,石英晶体的谐振频率会随压力变化而发生偏移,通过检测频率变化即可精确反演出压力值。该传感器具有分辨率高、长期稳定性好、抗干扰能力强等优点,广泛应用于航空航天、工业自动化、气象监测等领域。研制过程中需解决石英晶体切割取向、温度补偿、封装工艺等关键技术问题,以确保传感器在复杂环境下的可靠性和精度。未来,随着微纳加工技术和信号处理算法的进步,石英谐振式压力传感器将进一步向微型化、智能化方向发展,满足更高标准的测量需求。
