ASTME986-04(2017)标准规范为扫描电子显微镜（SEM）束斑尺寸表征提供了一套标准化的测试方法。该标准的主要目的是确保SEM束斑尺寸测量的准确性和可重复性，适用于不同型号和制造商的扫描电子显微镜。该标准详细描述了使用特定样品（如金颗粒或其他高对比度材料）进行束斑尺寸测量的步骤，包括样品制备、图像采集、数据处理和分析方法。通过遵循该标准，用户可以评估SEM的束斑直径和形状，这对于高分辨率成像、微区分析和定量测量至关重要。ASTME986-04(2017)适用于SEM操作人员、设备制造商以及需要精确束斑表征的研究人员和工程师。该标准有助于提高SEM数据的可靠性和可比性，确保实验结果在不同实验室和设备之间具有一致性。
