国际半导体技术路线图（ITRS）是由全球半导体行业联合制定的技术发展指南，旨在预测和规划未来15年内半导体技术的演进方向。ITRS涵盖了从设计、制造到封装测试的全产业链关键领域，为行业提供统一的技术参考标准。该路线图通过定期更新，协调全球半导体企业的研发投入，降低技术发展不确定性，推动摩尔定律的持续演进。ITRS在2016年后转型为更具针对性的IRDS（国际器件与系统路线图），但其历史版本仍被视为半导体技术发展的重要里程碑文档。