基于PECVD法沉积氮氧化硅/氮化硅叠层背钝化膜的商用高效P型单晶硅太阳电池是一种先进的光伏器件，通过等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术在电池背面制备氮氧化硅（SiON）和氮化硅（SiNx）叠层薄膜。这种结构能有效降低载流子复合，提高背表面钝化效果，从而显著提升电池的开路电压和转换效率。该技术已成功实现商业化生产，具有工艺成熟、成本可控等优势，成为当前高效P型单晶硅太阳电池的主流技术路线之一。
基于PECVD法沉积氮氧化硅/氮化硅叠层背钝化膜的商用高效P型单晶硅太阳电池是一种先进的光伏器件，通过等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术在电池背面制备氮氧化硅（SiON）和氮化硅（SiNx）叠层薄膜。这种结构能有效降低载流子复合，提高背表面钝化效果，从而显著提升电池的开路电压和转换效率。该技术已成功实现商业化生产，具有工艺成熟、成本可控等优势，成为当前高效P型单晶硅太阳电池的主流技术路线之一。