碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨 (T/CASAS 068-2026) 团体名称为北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
主要起草人：-
起草单位：-
内容简要 本文件规定了碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨的技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存等。本文件适用于纯度要求达到5 N 5（质量分数99.9995 %）以上的碳化…
简介
碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨 (T/CASAS 068-2026) 团体名称为北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
主要起草人：-
起草单位：-
内容简要 本文件规定了碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨的技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存等。本文件适用于纯度要求达到5 N 5（质量分数99.9995 %）以上的碳化…