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T/ZOIA 3013-2025 晶圆测试用探针卡技术规范

发布日期:2025-06-16,实施日期:2025-06-16,下载格式PDF。
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简介

晶圆测试用探针卡技术规范 (T/ZOIA 3013-2025) 团体名称为中关村光电产业协会

主要起草人:-

起草单位:-

内容简要 1)术语和定义通过对国内外文献调研、与领域专家研讨,确定了本标准的探针卡、探针间距、针位、平坦度、接触电阻、漏电流、针压、过驱动、针径参数等专业词语的定义。2)探针卡的分类和组…

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