半导体显示面板制造用湿法清洗设备技术规范 (T/SDZDH 0024-2026) 团体名称为山东省自动化学会
主要起草人：王维、于德意、王育才、李芳芳、韩冬、乔佳原、刘海啸、祝加贝、袁珩、靳松、郭以贺、宗见、魏强
起草单位：山东瑞翼德科技股份有限公司、专芯精控(雄安)科技有限公司、威海联创工业自动化科技股份有限公司
内容简要 本文件规定了半导体显示面板（TFT-LCD&OLED）制造用湿法清洗设备的工作原理和类型、主要结构、功能要求与技术要求。本文件适用于半导体显示面板制造领域的以下湿法清洗设备类型…