高精度传感器标定和测试技术规范电涡流位移传感器 (T/JQR 22-2026) 团体名称为安徽省机器人学会
主要起草人：冯志华、李伟、潘巧生、王洪波、王正根、崔建军、尹静、刘永斌、刘国强、李明夏、赵松杨、韦俊荣、李运锋、王彦飞、蒋寅先、陈恺、江浩、赵国锋、王岩枫、刁卫东、曹龙轩、冯子龙、陈光征、陆启帅、杨德华、张勇、琚斌、任艺军、张连生
起草单位：安徽见行科技有限公司、中国科学技术大学、合肥工业大学、迈为技术(珠海)有限公司、中国计量科学研究院、上海现代先进超精密制造中心有限公司、上海芯上微装科技股份有限公司、安徽省计量科学研究院、安徽大学、合肥师范学院、中国科学院南京天文光学技术研究所、中国科学院国家天文台
内容简要 本文件规定了分辨力ϵ[0.1 nm，100 nm]，量程ϵ[0.01 mm，4 mm]的高精度电涡流位移传感器标定和测试的术语与定义、标定及测试原理、标定系统要求、标定、测试、…