阻焊制程激光直写式光刻设备 (T/ZZB 3949-2025) 团体名称为浙江省质量协会
主要起草人：焦克北、陈泽瑞、王阔、王鹏、余子英、方骁远、钟迪、周文晖、黄康华。
起草单位：杭州欣俊哲微纳科技有限公司、安吉欣俊哲精密科技有限公司、浙江省质量科学研究院、河南百合特种光学研究院有限公司、杭州欣俊哲光学有限公司、杭州欣俊哲视觉科技有限公司、杭州新诺微电子有限公司、西安电子科技大学杭州研究院、杭州电子科技大学、东莞塘厦裕华电路板有限公司。
适用范围：
内容简要 本文件规定了阻焊制程激光直写式光刻设备（以下简称“光刻设备”）的基本要求、结构与工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标识、标志、包装、运输和贮存、产品随机文件和质量承诺。本…