电子级混合气体配制技术要求 (T/CCGA 30009-2025) 团体名称为中国工业气体工业协会
主要起草人：马银川、李晓、洑春干、王林章、柳彤、张净普、杨金山、鲍光强、杜卫东、吴国忠
起草单位：北京首钢气体有限公司、中国工业气体工业协会、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、中国电子气体及材料百人会
范围：本文件规定了电子级混合气体的配制或制备的基本要求、设备设施要求、技术要求、配制要求，标志、包装及使用要求。本文件适用于电子级混合气体的配制或制备。
内容简要 本文件规定了电子级混合气体的配制或制备的基本要求、设备设施要求、技术要求、配制要求，标志、包装及使用要求…