T/CEMIA 032-2022 显示面板用氧化层缓冲刻蚀液

显示面板用氧化层缓冲刻蚀液 (T/CEMIA 032-2022) 为中国电子材料行业协会发布。

本文件规定了显示面板用氧化层缓冲刻蚀液的缩略语、分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全。 本文件适用于由氢氟酸水溶液和氟化铵水溶液组成的显示面板用氧化层缓冲刻蚀液，适用于显示面板制造中硅氧化物和氮化硅层的蚀刻，同样适用于硅氧化物和氮化硅层的清洗过程。 氢氟酸和氟化铵的基本信息见附录A中的A.1。