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T/NXCL 28-2024 半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚

发布日期:2024-02-06,实施日期:2024-02-06,下载格式PDF。
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简介

半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚 (T/NXCL 28-2024) 团体名称为宁夏材料研究学会

主要起草人:李长苏、熊欢、何玉鹏、陈荣贵、王建军、史海贝、闫素婷、陈金莲、马万保、马荣天、王黎光、芮阳、李海波、盛旺、田宝春

起草单位:宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、宁夏大学、宁夏高创特能源科技有限公司、宁夏旭樱新能源科技有限公司

内容简要 本文件规定了半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚的术语和定义、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等方面的内容。本文件适用于合成石英砂(…

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