朗缪尔单探针等离子体测试仪校准规范 (T/BEA 43002-2023) 团体名称为北京电子仪器行业协会
主要起草人：邓星亮
起草单位：北京东方计量测试研究所
内容简要 1 范围本规范适用于电子密度范围1012m-3~1018m-3，电子温度范围1eV~10eV的低温等离子体朗缪尔单探针等离子体测试仪（下文简称等离子体测试仪）的校准。2 引用文…
朗缪尔单探针等离子体测试仪校准规范 (T/BEA 43002-2023) 团体名称为北京电子仪器行业协会
主要起草人：邓星亮
起草单位：北京东方计量测试研究所
内容简要 1 范围本规范适用于电子密度范围1012m-3~1018m-3，电子温度范围1eV~10eV的低温等离子体朗缪尔单探针等离子体测试仪（下文简称等离子体测试仪）的校准。2 引用文…