微波ECR等离子体发生器校准规范 (T/BEA 40002-2022) 团体名称为北京电子仪器行业协会
主要起草人：贾军伟、邓星亮、柴昊、刘民、武宇婧
起草单位：北京东方计量测试研究所
范围：本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和修理后的微波ECR等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准。
内容简要 1范围1.1主题内容本规范规定了微波ECR等离子体发生器的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理。1.2适用范围本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和…
T/BEA 40002-2022 微波ECR等离子体发生器校准规范
标准号
T/BEA 40002-2022
下载格式
PDF
发布日期
2022-01-18
实施日期
2022-02-09
标准类别
团体标准