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T/CEMIA 006-2018 膜厚监控用石英晶振片

发布日期:2018-12-14,实施日期:2019-03-14,下载格式PDF。
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简介

膜厚监控用石英晶振片 (T/CEMIA 006-2018) 团体名称为中国电子材料行业协会

主要起草人:王丽娟、毛晶、张立强、宫桂英、李健德、李剑、李洁、陈中康、张翔

起草单位:唐山万士电子有限公司、武汉海创电子股份有限公司,唐山国芯晶源电子有限公司、北京晨晶电子有限公司,江苏省东海硅产业科技创新中心。

范围:本标准规定了膜厚监控用石英晶振片的产品分类、技术要求、试验和测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存的要求。

内容简要 本标准规定了膜厚监控用石英晶振片的产品分类、技术要求、试验和测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存的要求。

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