光纤预制棒用四氯化硅容器清洗技术规范 (T/CEMIA 015-2018) 团体名称为中国电子材料行业协会
主要起草人：赵雄、严大洲、王磊、赵宇、郭树虎、陈娅丽、李东升、谢康、肖华、蒋锡华、于景明、莫杰、万烨、常欣、梁 君、周小红、汤剑波、卫晓明 、刘见华、张园园。
起草单位：洛阳中硅高科技有限公司、中天科技精密材料有限公司、上海正帆科技股份有限公司、青海中利光纤技术有限 公司、江苏亨通光导新材料有限公司、通鼎互联信息股份有限公司、威海长和光导科技有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、多晶硅材 料制备技术国家工程实验室。
范围：本标准规定了光纤预制棒用四氯化硅产品充装用容器清洗的设施和材料、清洗条件、清洗及质量控制的要求。本标准适用光纤预制棒用四氯化硅充装容器的清洗。光纤预制棒用四氯化锗，半导体用三氯氢硅、二氯二氢硅、六氯乙可参考使用。
内容简要 本标准规定了光纤预制棒用四氯化硅产品充装用容器清洗的设施和材料、清洗条件、清洗及质量控制的要求。本标准适用光纤预制棒用四氯化硅充装容器的清洗。