基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法 (T/CSTM 00313-2021) 团体名称为中关村材料试验技术联盟
主要起草人：马孜、姚德武、封巍、罗舒、郑环其、李斌成、易葵、张伟丽、赵元安
起草单位：西南技术物理研究所，中国科学院上海光学精密机械研究所。
范围：本文件规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性，并以此反演出膜层光学常数的测试方法。本文件适用于50nm～5000nm的介质光学薄膜和基片，薄膜为氧化物、氟化物、硫化物等化合物，基片为各种可见光透明光学玻璃、可见光透明各向同性晶体。
内容简要 本文件规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性，并以此反演出膜层光学常数的测试方法。本文件适用于50nm～5000nm的介质光学薄膜和基片，薄膜为氧化物、氟化物、硫化物等化合…