半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法 (T/GVS 006-2022) 团体名称为广东省真空学会
主要起草人：胡琅、陈浩、卫红、李晓峰、高峰、刘彭义、李晓刚、陈科球。
起草单位：季华实验室、中山凯旋真空科技股份有限公司、暨南大学。
范围：本文件规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求。本文件适用于电气工作频率在100 kHz～3 GHz的半导体装备用射频电源和微波电源产品。
内容简要 规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求。适用于电气工作频率在100kHz～3GHz的半导体装备用射频电源和微…