激光衍射法反射光栅校准规范 (JJF 1967-2022) 归口单位是全国新材料与纳米计量技术委员会，发布部门为国家市场监督管理总局。
本规范适用于平均间距为(140～2 000)nm、能观测到衍射现象的一维或二维反射光栅的校准。
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