掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范 (JJF 1613-2017) 归口单位是全国新材料与纳米计量技术委员会,发布部门为国家质量监督检验检疫总局。
本规范适用于掠入射X射线反射膜厚测量仪器(以下简称仪器)的校准。
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