电子探针分析仪 (JJG 901-1995) 归口单位是上海市技术监督局，发布部门为国家技术监督局。
本规程适用于新制造、使用中和修理后的电子探针分析仪(以下简称电子探针)的检定，也适用于配有波谱仪具有元素分析功能的扫描电子显微镜的检定。
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