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SJ/T 10311-1992 低压化学气相淀积设备通用技术条件

发布日期：1992-06-15，实施日期：1992-12-01，下载格式PDF。

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简介

低压化学气相淀积设备通用技术条件 (SJ/T 10311-1992) 主管部门为电子工业部。

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