SJ/T 11865-2022 功率器件用Φ150 mm n型碳化硅衬底

功率器件用Φ150 mm n型碳化硅衬底 (SJ/T 11865-2022)

此标准规定了功率器件用Φ150mm n 型碳化硅（SiC）衬底的术语、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。适用于经抛光后制备的Φ150mm n 型 SiC 衬底，晶型为 4H。