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SJ 2799-1987 电子级气体中痕量水分子的测定方法 目视露点法

发布日期:1987-04-06,实施日期:1988-01-01,下载格式PDF。
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简介

电子级气体中痕量水分子的测定方法 目视露点法 (SJ 2799-1987)

本方法适用于氢、氮、氧、氩、氦、压缩空气、磷烷、硼烷、六氟化硫等电子工业工艺用气体中微量水份露点的测定,测定范围0~90℃。

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