YS/T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法

氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法 (YS/T 1392-2020) 主管部门为工业和信息化部，行业分类所属制造业。

本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %～100 %。