半导体制造设备人机界面规范 (SJ/T 11763-2020) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司等
起草人：付金生、冯亚彬、程朝阳 等
适用于半导体制造设备
半导体制造设备人机界面规范 (SJ/T 11763-2020) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司等
起草人：付金生、冯亚彬、程朝阳 等
适用于半导体制造设备