薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范 (SJ/T 11516-2015) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：深圳清溢光电股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人：万承华、张沛、熊启龙 等
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