高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 (YS/T 980-2014) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：峨嵋半导体材料研究所、南京中锗科技股份有限公司等
起草人：刘爱华、孙平 等
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