氯硅烷中碳杂质的测定方法——甲基二氯氢硅的测定 (YS/T 987-2014) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：四川新光硅业科技有限责任公司、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司等
起草人：敖细平、王波 等
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