高纯砷化学分析方法 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定高纯砷中杂质含量 (YS/T 34.1-2011) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位:峨嵋半导体材料厂、峨嵋山嘉美高纯材料有限公司
起草人:程高明、邹同贵 等
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