真空技术 涡旋干式真空泵 (JB/T 11080-2011) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司、川北科技（北京）有限公司等
起草人：张振厚、陈林 等
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