真空技术 多级罗茨干式真空泵 (JB/T 11237-2011) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位:中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司、北京郎禾科技有限公司等
起草人:张振厚、王光玉
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