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SJ/T 10478-1994 磁控溅射设备通用技术条件

发布日期：1994-04-11，实施日期：1994-10-01，下载格式PDF。

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简介

磁控溅射设备通用技术条件 (SJ/T 10478-1994) 主管部门为电子工业部。

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