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YS/T 718-2009 平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶

发布日期:2009-12-04,实施日期:2010-06-01,下载格式PDF。
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简介

平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶 (YS/T 718-2009) 主管部门为工业和信息化部。

起草单位:利达光电股份有限公司

起草人:李智超、杨太礼 等

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