纳米和微电子机械系统（NEMS/MEMS）是融合纳米技术与微电子机械技术的跨学科领域。MEMS（微机电系统）指尺寸在微米级的微型机械装置，通常集成传感器、执行器和电子电路，广泛应用于汽车安全气囊、智能手机陀螺仪等领域。NEMS（纳机电系统）则进一步缩小到纳米尺度，利用量子效应和表面力等纳米级现象，在超高精度传感、分子级操作等方面展现出潜力。这两类系统通过半导体工艺制造，具有体积小、功耗低、响应快等特点，正在推动医疗诊断、环境监测、通信技术等领域的革新，是当代微纳制造技术的核心发展方向之一。