《微电子制造科学原理与工程技术》是一本系统介绍微电子制造领域核心科学与工程技术的专业书籍。本书从基础理论出发，深入讲解了半导体物理、器件原理、集成电路设计等科学基础，同时详细阐述了现代微电子制造中的关键工艺技术，包括光刻、刻蚀、薄膜沉积、掺杂、互连等核心制造流程。书中不仅涵盖了传统硅基集成电路制造技术，还介绍了新型存储器、MEMS器件、先进封装等前沿领域。通过理论与实践相结合的方式，本书为读者提供了从纳米尺度器件物理到大规模集成电路制造的完整知识体系，适合作为微电子、半导体、材料科学等相关专业的高年级本科生、研究生教材，也可供半导体行业工程师和技术人员参考。