金刚石单晶表面应力分布测定 拉曼光谱法 (T/IAWBS 023-2025) 团体名称为中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
主要起草人：曹繁秋、霍晓迪、金鹏、郑红军、李国平、闫方亮、屈鹏霏、王 镇、沈婧、胡恩萍、李红东、刘祎晨，陈健
起草单位：中国科学院半导体研究所，德州学院，堀场（中国）贸易有限公司， 中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟，江苏卓远半导体有限责任公司，北京聚睿众邦科 技有限公司，吉林大学，河南六面顶新材料科技有限公司
范围：本文件规定了立方金刚石单晶表面应力分布的测试方法。本文件适用于立方金刚石单晶表面应力分布的测试。
内容简要 本标准根据金刚石单晶的材料性能特点，对金刚石单晶表面应力分布的测试原理、测量精度保障、测量步骤等内容做出了规定。…