纳米制造 关键控制特性 第6-21部分:石墨烯基材料 元素组成和碳氧比 X射线光电子能谱法 (IEC TS 62607-6-21:2022) Nanomanufacturing - Key control characteristics - Part 6-21: Graphene-based material - Elemental composition, C/O ratio: X-ray photoelectron spectroscopy 标准发布组织为IEC,国际组织机构所属TC 113。
IECTS62607-6-21:2022适用于纳米制造领域中对关键控制特性的评估,具体针对纳米材料在电子器件制造过程中的性能测量和标准化方法,为纳米材料的生产和应用提供技术规范和测试指南,确保其质量和可靠性满足工业需求。