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SJ 1551-1979 硅外延层电阻率测试方法(电容-电压法)(暂行)

发布日期:1980-03-01,实施日期:1980-06-01,下载格式PDF。
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简介

硅外延层电阻率测试方法(电容-电压法)(暂行) (SJ 1551-1979) 由中华人民共和国第四机械工业部发布。

此标准规定了N/N、P/P结构硅外延片的净杂质浓度,通过净杂质浓度与电阻率的关系曲线,可求得电阻率。

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