电子薄膜用高纯钴靶材 (YS/T 1053-2015) 主管部门为工业和信息化部，行业分类所属制造业。
起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司，有研亿金新材料有限公司
起草人：王学泽、李勇军、郑文翔等
本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。
简介
电子薄膜用高纯钴靶材 (YS/T 1053-2015) 主管部门为工业和信息化部，行业分类所属制造业。
起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司，有研亿金新材料有限公司
起草人：王学泽、李勇军、郑文翔等
本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。