半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 (JC/T 2133-2012) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所
起草人：陈奕睿、屈海云 等
JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
发布日期：2012-12-28，实施日期：2013-06-01，下载格式PDF。
半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 (JC/T 2133-2012) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所
起草人：陈奕睿、屈海云 等