电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南 (YS/T 935-2013) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司
起草人：张涛、何金江 等
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