工业三氯氢硅 (GB 28654-2012)
此标准规定了工业三氯氢硅产品的要求、试验方法、检验规则以及标志、标签、包装、运输、贮存和安全。此标准适用于主要作为多晶硅和硅烷偶联剂等原料的工业三氯氢硅。
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